SRM 2000 高分辨率 X 射线衍射校准标准

SRM 2000 高分辨率X射线衍射校准标准 

SRM Number（货号）：SRM 2000

Description：Calibration Standard for High-Resolution X-Ray Diffraction

描述：高分辨率 X 射线衍射校准标准

Unit of Issue（产品规格）：1 block

该标准参考材料 （SRM） 为高分辨率 X 射线衍射 （HRXRD） 社区提供了国际单位制 （SI） [1] 可追溯的 Si （220） 透射 d 间距、表面到晶体平面晶圆误切和表面到 Si （004） 反射中的布拉格角作为我们的参考波长。 SRM 2000 的一个单元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 双抛光 （100） 取向的单晶 Si 试样组成，标称 Si0.85Ge0.15 外延层和 25 nm Si 帽。 这些认证值可用于校准HRXRD仪器。

SRM 2000 高分辨率 X 射线衍射校准标准 的储存与使用：

储存和处理：外延层可能会损坏或晶圆受到机械拉伤;因此，应避免与SRM的前表面接触。 要去除表面污染，请使用过滤后的氮气。

峰分布：测得的衍射峰明显不对称。 支持性测量表明，这种不对称性可能并不完quan是由于仪器效应造成的，而是部分由于 SRM 2000 原料的特性。 因此，使用分离式 Pearson VII 轮廓来拟合和估计峰位置，并推荐用于确定峰位置以进行校准。 由于不对称性对轮廓位置确定的影响不同，使用另一个轮廓函数可能会导致系统性偏差。

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